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以硅為主要材料的微型化，MEMS受微電子技術的啟發，在微電子加工技術和各種微機械加工技術的基礎上形成微系統。MEMS一體化的微型器件系統，由感知外部信息(力、熱、光、生、磁、化等)的微傳感器、控制對象的微執行器、信號處理和控制電路、通信接口和電源組成。MEMS它具有珠海減速電機集成電路系統的許多優點。機械和電氣性能優異，可批量生產、集成等，同時集中了機械、數據、信息和自動控制、物理、化學和生物學等學科發展的前沿效應，具有多學科交叉、多技術集成的特點。

MEMS該技術的目標是將信息的獲取、處理和執行集成到醫療電子應用領域。多功能微系統的組成，不僅可以降低機電系統的資本，還可以完成大型機電系統無法完成的任務，還可以嵌入大型系統，大大提高系統的自動化、智能和珠海減速電機可靠性水平。MEMS技術開辟了一個全新的醫療電子產業。

未來5年MEMS大多數行業觀察家預測，珠海減速電機醫療設備的銷售將快速增長。年平均增長率約為21%，為醫療電子行業的發展提供了極好的機遇。