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行星減速步進電機具有重量輕、體積小、傳動比大、效率高、運行穩定、噪音適應性低等特點。減速器廣泛應用于冶金、礦山、起重運輸、電力、能源、建材、輕工、交通等工業部門。

行星減速步進電機對硬齒表面齒輪有許多熱處理方法，如表面淬火、整體淬火、碳化淬火、氮化等，應根據行星齒輪減速器的特點進行選擇。

1.表面淬火

常用的表面淬火方法有兩種:高頻淬火(對小齒輪)和火焰淬火(對大齒輪)。表面淬火的淬火層包括齒根底部，效果良好。表面淬火常用材料的質量分數約為0.35%~0.鋼材5%，行星減速機齒面硬度可達45%~55HRC。

2.滲碳淬火

滲碳淬火齒輪具有較大的承載能力，但需要采用精加工(磨齒)來消除熱處理變形，以保證精度。

行星減速步進電機滲碳淬火齒輪常用滲碳的質量分數為0.2%~0.3%的合金鋼，其齒面硬度通常為58~62HRC如果低于577。HRC牙面強度明顯下降，高于62HRC脆性隨時增加。輪齒心臟的硬度一般為310~330HBW這是合適的。從輪齒表面到深層應逐漸降低滲碳淬火齒輪的硬度，而有效滲碳深度規定表面到深層應逐漸降低，有效滲碳深度規定表面到硬度52.5HRC處的深度。

3.滲氮

滲氮的使用可以確保齒在小變形條件下實現高齒硬度和耐磨性，熱處理后不能再進行加工，提高承載能力。這對不易磨齒的內齒輪具有特殊的意義。